特許

J-GLOBAL ID：200903012996904419

粒子の検出および画像化の為の方法と装置

発明者： エッガーズ・ミッチェル・ディー ,  ホーガン・ミッチェル・イー ,  エーリック・ダニエル・ジェー ,  ホリス・マーク・エー ,  コシキ・バーナード・ビー ,  レイヒ・ロバート ,  バーケ・バリィ・イー
出願人/特許権者： マサチューセッツ・インスティチュート・オブ・テクノロジー ,  ベイラー・カレッジ・オブ・メディスン ,  ヒューストン・アドバンスト・リサーチ・センター
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-522366
公開番号（公開出願番号）：特表平9-509494
出願日： 1995年02月09日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】検出された粒子の空間分布の大きなフォーマットの高解像度のデジタル画像を形成して、放射源からの粒子放射を超高感度で検出し定量化するための方法および装置について記述する。第1の実施例では、検出装置は、放射源と検出器の間にレンズを必要とせず、比較的大きなフォーマットのデジタル画像を形成するために、ある程度放射源に近接して配置される荷電結合素子のアレーのような、複数のソリッドステート画像化装置からなる。

請求項（抜粋）：

サンプルの成る領域に於ける粒子放射を検出し、画像を形成する為の方法であって、 a)画像化される可きサンプルの領域に対応したサイズの粒子検出器面積を持つ粒子検出器のアレーを形成するステップと、 b)上記の検出器の中に於いて、上記のサンプルから直接発せられる粒子放射を光電子に変換するステップと、 c)上記の光電子を上記の検出器の中に於いて集めるステップと、 d)上記の集められた電子の画像を形成するステップとを備えた方法。

IPC (2件)：

G01T 1/24 ,  H01L 27/14

FI (2件)：

G01T 1/24 ,  H01L 27/14 K