特許

J-GLOBAL ID：200903013002230321

結晶配向性酸化亜鉛焼結体

発明者： 隈 公貴 ,  小川 展弘 ,  山本 和明 ,  林 博明 ,  毛利 隆
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-160743
公開番号（公開出願番号）：特開平6-340468
出願日： 1991年06月06日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】 スパッタリングタ-ゲットとして有用な酸化亜鉛焼結体を提供する。【構成】 焼結体密度が3.5g/cm3〜5.8g/cm3であり、(101)結晶配向の配向比率が式(1)で示される範囲にある結晶配向性酸化亜鉛焼結体。【化1】【効果】 得られたタ-ゲットは、対向する平行基板上の抵抗分布が著しく低減され広範囲に渡って低抵抗な膜となる。

請求項（抜粋）：

焼結体密度が3.5g/cm3〜5.8g/cm3であり、(101)結晶配向の配向比率が以下の式(1)で示される範囲にある結晶配向性酸化亜鉛焼結体。【化1】

IPC (3件)：

C04B 35/00 ,  C23C 14/34 ,  H01B 1/08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭51-016317
  
• 特開平2-149459
  
• 特開昭62-012009