特許

J-GLOBAL ID：200903013005497671

耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法

発明者： 布村 昌隆 ,  川崎 大 ,  鈴木 宏
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-260510
公開番号（公開出願番号）：特開平8-120174
出願日： 1994年10月25日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 膜厚の分布が小さく、パターン形状のバラツキが少ない感光性重合体組成物を提供する。【構成】 一般式(I)(式中、R1は炭素数2以上の4価の有機基を意味し、R2は炭素数2以上の2価の有機基を意味し、各カルボキシル基はアミド結合が結合している各炭素原子に対してオルト位に結合している)で表されるポリマ、化学線により、2量化もしくは重合可能な1つもしくは複数の不飽和結合及び1つのアミノ基又はその四級化塩を含む化合物、芳香族ビスアジド化合物、非プロトン性極性溶剤及び一般式(II)(式中、R3は炭素数1〜8のアルキル基を意味し、R4は炭素数1〜8のアルキル基を意味する)で表されるケトン系溶剤を含む耐熱性感光性重合体組成物およびこの組成物を用いたレリーフパターンの製造法。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(I)【化1】(式中、R1は炭素数2以上の4価の有機基を意味し、R2は炭素数2以上の2価の有機基を意味し、各カルボキシル基はアミド結合が結合している各炭素原子に対してオルト位に結合している)で表されるポリマ、(b)化学線により、2量化もしくは重合可能な1つもしくは複数の不飽和結合及び1つのアミノ基又はその四級化塩を含む化合物、(c)芳香族ビスアジド化合物、(d)非プロトン性極性溶剤及び(e)一般式(II)【化2】(式中、R3は炭素数1〜8のアルキル基を意味し、R4は炭素数1〜8のアルキル基を意味する)で表されるケトン系溶剤を含有してなる耐熱性感光性重合体組成物。

IPC (4件)：

C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/037 501 ,  G03F 7/038 504

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-179354
  
• 特開平1-110559
  
• 特公平3-036861