特許
J-GLOBAL ID:200903013008556563

データ圧縮技法及びその技法を用いたシステム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 頓宮 孝一 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-214201
公開番号(公開出願番号):特開平5-226236
出願日: 1992年08月11日
公開日(公表日): 1993年09月03日
要約:
【要約】【目的】 本発明の目的は、コンピュータによって複雑なイメージを生成するために必要なデータを圧縮する方法を提供すること、特に、チップがパーソナライズされているために全体的設計に反復がないにもかかわらず、最新式のコンピュータ・チップの製造におけるパターンの圧縮技法を提供することである。【構成】 設計をコード化するために1つまたは複数の構成単位パターンを選択する。構成単位パターン・セット中の各形状に、その設計用のデータ・ワード中で使用する順序番号を付ける。各ブロックの形状記述子のセットを参照メモリに記憶する。あるブロックを参照するデータ・ワードは、記憶されたブロック・パターンを指定するいくつかのバイトと、パターン中のどの形状が含まれ、または排除されるかをコード化するセクションとを含む。各形状に、その順序番号に従ってビットを割り当てる。
請求項(抜粋):
複数のブロックに分割された複雑なコンピュータ生成イメージを露光するためにビームを投射するコンピュータ・イメージ生成システムであって、前記複数のブロックごとに露光するために、所定のデータに従って前記ビームを偏向させる偏向手段と、前記複数のブロックのうち任意の1つのブロック中で前記イメージの一部分を生成するために、該一部分を構成し得る最大組合せの複数の単純な形状を、該形状を指定する形状番号とともに記憶する参照メモリ手段と、前記ブロック中で前記イメージの部分を作成するために、前記複数の単純な形状の最大組合せのうちのどの形状が生成されるかを示す前記形状番号に対応した順序を有するビット列パターンを、記憶するバッファメモリ手段と、前記参照メモリ手段と前記バッファ・メモリ手段とから引き出された、前記ブロックのそれぞれに関するデータを、前記ビット列パターンにしたがってブロック毎に前記複雑なイメージを生成するために、前記偏向手段に供給する手段とを含む、コンピュータ・イメージ生成システム。
IPC (4件):
H01L 21/027 ,  G06F 15/60 370 ,  G06F 15/66 330 ,  G06F 15/66 400
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭63-081819
  • 特開昭57-122528

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