特許

J-GLOBAL ID：200903013018347504

耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜

発明者： 杉崎 康昭 ,  佐藤 俊樹 ,  安永 龍哉 ,  蔡 政憲 ,  河田 和久
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121493
公開番号（公開出願番号）：特開平7-331410
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】 基本的にはTiN皮膜や(Ti,Al)N皮膜の優れた特徴を生かしつつ、耐酸化性および耐摩耗性を更に改善した硬質皮膜を提供する。【構成】 TiN皮膜または(Ti,Al)N皮膜の表面に、Ta,Ni,Si,白金族元素およびハロゲン元素よりなる群から選ばれる1種以上の元素をイオン注入し、前記皮膜の表層部に前記元素の濃度富化層を形成したものである。

請求項（抜粋）：

TiN皮膜または(Ti,Al)N皮膜の表面に、Ta,Ni,Si,白金族元素およびハロゲン元素よりなる群から選ばれる1種以上の元素をイオン注入し、前記皮膜の表層部に前記元素の濃度富化層を形成したものであることを特徴とする耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜。

IPC (5件)：

C23C 14/06 ,  B23B 51/00 ,  B23P 15/28 ,  C23C 14/48 ,  B23B 27/14