特許

J-GLOBAL ID：200903013020388170

表面電位の計測装置

発明者： 古 川 弘 司
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-211988
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052891
出願日： 1991年08月23日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：

【要約】【目的】 電気光学効果を有する結晶(非線形光学結晶)を適用する表面電位の計測装置であって、測定結果の温度依存性が小さく、精密な温度コントロールを行わなくても、高精度な表面電位の計測を行うことができる表面電位の計測装置を提供する。【構成】 電気光学効果を有する結晶の屈折率変化の温度依存性が小さい結晶軸方向の直線偏光の光ビームを分離して計測光および参照光とし、前記計測光が結晶を通過した後に、計測光と参照光とを合成、干渉させて位相検波することにより前記目的を達成する。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する結晶を対向電極で挟持してなり、前記対向電極のいずれか一方が被検体である帯電体に対面して配される計測ヘッドと、前記複屈折結晶における屈折率変化の温度依存性が小さい結晶軸方向と同方向の直線偏光の光ビームを射出する光源と、前記光源より射出された光ビームを、前記計測ヘッドを通過する計測光と通過しない参照光とに分離し、前記計測光が計測ヘッドを通過した後に再度この計測光と参照光とを合成し、干渉させる干渉計と、前記干渉計によって合成され干渉する光ビームの光量計測手段と、前記光量計測手段によって得られた測定結果より、前記被検体の表面電位を算出する演算手段とを有することを特徴とする表面電位の計測装置。