特許

J-GLOBAL ID：200903013025614666

感放射線性塗布組成物

発明者： 中野 浩二 ,  高田 芳宏 ,  大畑 達寛
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-158324
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010711
出願日： 1996年06月19日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル等にかわる溶媒にて、これまで両立が困難であった塗布特性、保存安定性に優れた感放射線性塗布組成物を提供することにある。【解決手段】 ベース樹脂、感放射線化合物、及び溶媒からなる感放射線性塗布組成物において、該溶媒が2-ヘプタノン(A)と、1,2-プロパンジオールモノアルキルエーテル(B)とを、その混合割合[B/(A+B)]を3〜28重量%で含有する混合溶媒である感放射線性塗布組成物。

請求項（抜粋）：

ベース樹脂、感放射線化合物、及び溶媒からなる感放射線性塗布組成物において、該溶媒が2-ヘプタノン(A)と、1,2-プロパンジオールモノアルキルエーテル(B)とを、その混合割合〔B/(A+B)〕を3〜28重量%で含有する混合溶媒であることを特徴とする感放射線性塗布組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/30 502 R