特許
J-GLOBAL ID：200903013026094062
弾性表面波デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-266894
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112624
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】 安価で信頼性の高い弾性表面波デバイスを得ることを目的とする。【解決手段】 表面に櫛形電極を形成した圧電基板1上に感光性膜3を設け、感光性膜3の少なくとも一部分を露光、現像して少なくとも櫛形電極を含む弾性表面波が伝搬する部分を囲むように包囲壁9を形成する一方、支持部材上に感光性膜12を設け、感光性膜12の少なくとも一部分を露光、現像して蓋体16を形成し、包囲壁9と蓋体16を接着した後、支持部材と蓋体を分離する。
請求項（抜粋）：
表面に櫛形電極を形成した圧電基板上に第1の感光性膜を設け、前記第1の感光性膜の少なくとも一部分を露光、現像して少なくとも前記櫛形電極を含む弾性表面波が伝搬する部分を囲むように包囲壁を形成する一方、支持部材上に第2の感光性膜を設け、前記第2の感光性膜の少なくとも一部分を露光、現像して蓋体を形成し、前記包囲壁と前記蓋体を接合した後、前記支持部材と前記蓋体を分離することを特徴とする弾性表面波デバイスの製造方法。
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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