特許

J-GLOBAL ID：200903013026779332

搬送装置

発明者： 西 正博 ,  志村 敏克
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-245478
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077170
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 搬送装置に関し、基板をキャリアに収容された状態で安全且つ安価に搬送でき、効率的な生産に寄与することのできる搬送装置を提供することを目的とする。【解決手段】 搬送台車14と、該搬送台車に昇降可能に支持された把持部材18と、該把持部材に設けられた下部開放型のカバー20と、該把持部材に設けられ、基板を収容したキャリアを該カバー内において取りつけ可能な取りつけ装置22と、該取りつけ装置に取りつけられたキャリアから基板が飛び出すのを防止する基板飛び出し防止機構24とを備えた備えた構成とする。

請求項（抜粋）：

搬送台車と、該搬送台車に昇降可能に支持された把持部材と、該把持部材に設けられた下部開放型のカバーと、該把持部材に設けられ、基板を収容したキャリアを該カバー内において取りつけ可能な取りつけ装置と、該取りつけ装置に取りつけられたキャリアから基板が飛び出すのを防止する基板飛び出し防止機構とを備えたことを特徴とする搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07

FI (2件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 L

Fターム (13件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031FA03 ,  5F031FA13 ,  5F031GA58 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031NA02 ,  5F031NA10