特許

J-GLOBAL ID：200903013034145768

光学記録媒体の製造装置および光学記録媒体の製造方法、並びに誘電体膜の成膜装置

発明者： 安孫子 透
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-125738
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319193
出願日： 2001年04月24日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】【課題】 誘電体膜などの積層膜を成膜する際に、それぞれの膜の各膜厚における膜厚分布を均一にする。【解決手段】 基板の一主面上に、情報信号を記録可能および/または再生可能に構成された積層構造の情報信号層7を形成する。情報信号層7を構成する積層膜の上層誘電体膜6を、2回に分け、スパッタリング装置における第5の真空チャンバと第6の真空チャンバとを用いて、第1の上層誘電体膜6aと第2の上層誘電体膜6bとを用いて順次成膜する。この際、第5の真空チャンバおよび第6の真空チャンバを、これらの真空チャンバにより成膜する膜の膜厚分布が互いに補間するように構成する。

請求項（抜粋）：

基板の一主面上に、情報信号を記録可能および/または再生可能に構成された、積層構造の情報信号層を有し、上記情報信号層を構成する積層膜の部分の、複数層からなる膜を順次成膜可能に構成された光学記録媒体の製造装置であって、上記複数層からなる膜を順次それぞれ成膜可能に構成された複数の成膜手段を有し、上記複数の成膜手段が、上記成膜手段によって成膜される膜の膜厚分布が、互いに補間するように構成されていることを特徴とする光学記録媒体の製造装置。

IPC (7件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/56 ,  G11B 7/24 534 ,  G11B 7/24 ,  G11B 7/24 535

FI (8件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/06 N ,  C23C 14/34 N ,  C23C 14/34 V ,  C23C 14/56 H ,  G11B 7/24 534 M ,  G11B 7/24 534 N ,  G11B 7/24 535 H

Fターム (24件)：

4K029AA11 ,  4K029BA22 ,  4K029BA46 ,  4K029BA51 ,  4K029BA58 ,  4K029BA64 ,  4K029BC08 ,  4K029BD09 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DA01 ,  4K029DC01 ,  4K029DC04 ,  4K029DC34 ,  4K029EA01 ,  5D029LA14 ,  5D029LA15 ,  5D029LA16 ,  5D029LB11 ,  5D121AA03 ,  5D121EE03 ,  5D121EE09 ,  5D121EE19 ,  5D121EE27