特許

J-GLOBAL ID：200903013035517740

機械式インターフエース装置

発明者： 山下 哲平 ,  村田 正直 ,  田中 幹 ,  森田 日也 ,  河野 等 ,  奥野 敦 ,  津田 正徳 ,  林 満弘
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240850
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082622
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 空気中の酸素によるウエハ表面の自然酸化膜の影響が問題となり、この成長を防止するため、ウエハの移動、搬送、処理等を不活性ガス(N2ガス)雰囲気中で行なう必要が生じたので、このガス置換が可能となる機械式インターフェース装置を提供する。【構成】 本体ケース1内の空気をN2ガスで置換してN2ガス雰囲気とし、ポッドPOD10内部はN2ガス雰囲気に保たれているが、該ポッドが本体ケース1の天板2上にセットされる都度、その内部をN2ガスで再置換してより高純度のN2ガス雰囲気とする。可搬タイプであるポッドへのN2ガス注入は、ポッドドア21で密閉したままで、本体ケース1側からN2ガスを注入する。このため二重環状体状のベローズ50が気密に配設され、内に複数本の予負荷ばね70とで付勢装置とし、ポットドアが任意の所定高さ下降駆動されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

本体ケースに設けられ被処理物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、このポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレートに係合して前記ポートを閉鎖するポートドアを備え、このポートドアが上記ポッドドアを上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する機械式インターフェース装置において、上記ポートドアが所定高さ昇降動可能な筒状空間を内部に区画するとともに上記ポートプレートの下面に気密に係合可能な上係合周部を有する可動のポートスカート、上記ポートドアもしくは当該ポートドアとともに昇降する部材に配設され上記ポートスカートを上記ポートプレートへ向けて付勢する付勢装置を備え、上記ポートプレートは内周面に開口する排気口とこの内周面に開口するとともにN2 ガス源に接続される給気口を有し、上記付勢装置は、ポートドアの昇降軸に固着された台とポートスカートの下フランジとの間に介装された複数本の予負荷ばねであり、上記台とポートスカートの下フランジとの間に当該ポートスカートの下開口を取り巻く二重環体状のベローズが気密に配設され、上記複数本の予負荷ばねはこのベローズ内に配設され、上記ポッド内へのN2 ガス注入に際し、上記ポートドアが任意の所定高さ下降駆動されることを特徴とする機械式インターフェース装置。