特許

J-GLOBAL ID：200903013036277793

レーザ加工装置

発明者： 丸山 重信 ,  青山 博志 ,  大前 吾一 ,  志賀 正幸
出願人/特許権者： 日立ビアメカニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-065153
公開番号（公開出願番号）：特開2008-221299
出願日： 2007年03月14日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：

【課題】 マスクパターンを被加工物上に精度良く投影することができ、加工精度に優れるレーザ加工装置を提供すること。【解決手段】 被加工物320表面に形成されたアライメントマークを観察するテレビカメラ351を内蔵し投影レンズ310の焦点距離を測定することができるオートフォーカスユニット340を設け、被加工物320の主走査方向の設計値に対する伸縮量Exおよび副走査方向の設計値に対する伸縮量Eyを求め、伸縮量Exに関しては投影レンズ310の結像倍率Mを補正することにより、伸縮量Eyに関しては投影レンズの結像倍率Mを考慮してマスク330または/および被加工物320の移動速度を補正する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

固定の投影レンズを挟みマスクと被加工物とを共役関係に配置し、前記マスクと被加工物とを同時に移動させることにより前記マスクに形成されたパターンを前記被加工物に投影加工するレーザ加工装置において、 前記被加工物表面に形成されたアライメントマークを観察する手段を設け、 前記被加工物の主走査方向の設計値に対する伸縮量Exおよび副走査方向の設計値に対する伸縮量Eyを求め、 伸縮量Exに関しては前記投影レンズの結像倍率Mを補正することにより、 伸縮量Eyに関しては前記投影レンズの結像倍率Mを考慮して前記マスクまたは/および前記被加工物の移動速度を補正する ことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (3件)：

B23K 26/02 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/00

FI (3件)：

B23K26/02 A ,  B23K26/06 J ,  B23K26/00 M

Fターム (5件)：

4E068CA14 ,  4E068CB01 ,  4E068CC02 ,  4E068CD10 ,  4E068DA09

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特許第3285214号公報
  
• 特許第2960083号公報
  
• 露光方法及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-014482   出願人：株式会社ニコン