特許
J-GLOBAL ID：200903013041319933
円板状体の位置合わせ装置およびその方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 昇 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057558
公開番号（公開出願番号）：特開2003-258062
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2003年09月12日
要約：
【要約】【課題】 オリエンテーションフラット等の結晶方位指示部における研磨屑の有無に関わらず、半導体ウエハ等の円板状体の中心位置および結晶方位指示部の向きを所定位置に合わせるための円板状体の位置合わせ装置およびその方法を提供する。【解決手段】 位置検出手段2に包含される光源5により、円板状体w1の回転手段1への保持側面に光が照射される。照射された光は、当該保持側面において反射される。この反射光を位置検出手段2に包含されるセンサ8により受光して所定の基準位置から円板状体w1の端面までの距離を検出する。これを微小角度ずつ繰り返し行う。
請求項（抜粋）：
オリエンテーションフラット等の結晶方位指示部を有する半導体ウエハ等の円板状体を保持し、当該円板状体面に対する垂線を回転軸として当該円板状体を回転させるための回転手段と、前記回転手段により円板状体を回転させつつ、前記円板状体の中心位置および結晶方位指示部の位置を検出するための位置検出手段と、前記円板状体の中心位置が所定基準位置に移動するように、前記回転手段を移動させるための移動手段と、前記位置検出手段において検出された前記中心位置の前記所定基準位置に対するずれをなくし、前記結晶方位指示部を所定方向に指向させるために、前記回転手段および前記移動手段を制御するための制御手段とを具備する円板状体の位置合わせ装置であって、前記位置検出手段は、前記円板状体の前記回転手段への保持側面に光を照射するための光源と、前記保持側面からの反射光を受光するセンサとを含むことを特徴とする円板状体の位置合わせ装置。
FI (3件)：
H01L 21/68 M
, H01L 21/68 F
, H01L 21/68 N
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031DA15
, 5F031HA57
, 5F031HA59
, 5F031HA78
, 5F031JA04
, 5F031JA06
, 5F031JA29
, 5F031JA36
, 5F031KA06
, 5F031KA11
, 5F031KA13
, 5F031MA39
