特許

J-GLOBAL ID：200903013043176617

組成及び格子歪測定用電子顕微鏡及びその観察方法

発明者： 常田 るり子 ,  柿林 博司
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-265159
公開番号（公開出願番号）：特開平9-105729
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】 多層薄膜試料の界面や薄膜内における3次元格子歪構造を原子オーダの分解能で定量解析する。【解決手段】 くさび形にへき開した試料片12に加速した電子線1を入射し、透過像19上に現われる等厚干渉縞23を検出し、該等厚干渉縞23の強度分布が格子面傾斜によって変化する現象を利用し、格子面傾斜角度が電子線入射方向に沿って変化している様な、従来の格子歪測定法では解析不可能であった格子歪構造をシミュレ-ションを用いて定量解析する。【効果】 ヘテロ界面や薄膜内の組成変化及び格子歪構造を原子オーダの分解能で評価することにより、歪超格子デバイス等の特性と格子歪構造との関係が解明でき、不良解析のみならず、プロセス条件やデバイス構造の最適化に関する知見が得られる。

請求項（抜粋）：

熱電界放出型電子銃、電子レンズ、電子線偏向コイル、試料ホルダ、試料傾斜機構、画像記録装置及び制御ソフトとが像処理ソフトを搭載した計算機よりなる電子顕微鏡であって、くさび形にへき開した結晶試料片を固定する手段と、試料片の組成を分析する手段と、入射電子線に対する格子面の角度が入射電子線方向に変化している試料片における格子面の角度分布を解析する手段を持つことを特徴とする格子歪測定用電子顕微鏡。

IPC (5件)：

G01N 23/225 ,  G01B 9/04 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/26

FI (5件)：

G01N 23/225 ,  G01B 9/04 ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/22 501 C ,  H01J 37/26