特許
J-GLOBAL ID：200903013049342390
除振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三浦 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-118915
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311295
出願日： 1998年04月28日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【目的】 空気室の圧力変化に対する応答性に優れた除振装置を得る。【構成】 可動台の上昇方向と下降方向の双方に高い圧力応答性で追従させるため、固定台と可動台との間に、可撓性気密部材を介して、上下方向に独立した少なくも二つの空気室を形成し、この上下の独立した二つの空気室に対して、独立して加圧空気を吸排制御する二系統の圧力制御系を設けた除振装置。
請求項（抜粋）：
固定台に加わる振動が可動台へ伝播されるのを防止する除振装置において、固定台と可動台との間に、可撓性気密部材を介して、上下方向に独立した少なくも二つの空気室を形成し、この上下の独立した二つの空気室に対して、独立して加圧空気を吸排制御する二系統の圧力制御系を設けたことを特徴とする除振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16F 15/04 L
, H02K 5/24 A
