特許

J-GLOBAL ID：200903013052068690

振動子の製造方法

発明者： 大石 純司 ,  板持 眞次
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-123406
公開番号（公開出願番号）：特開平8-316763
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 本発明は振動子の製造方法に関するもので、カバーの貫通孔部における気体や水分等の侵入を防止することを目的とするものである。【構成】 そして、この目的を達成するために本発明は、貫通孔16,17を形成するに際し、先ず大きな砥粒で第1のサンドブラストを行い、次に前記第1のサンドブラストの砥粒よりも小さな砥粒を用いて第2のサンドブラストを行い、その後エッチングして形成し、次にこの貫通孔16または17内壁面に導電膜18を形成するものである。

請求項（抜粋）：

振動板と、この振動板の表、裏面を覆うとともに、その外周部で前記振動板の外周部を挟持した第1、第2のカバーとを備え、前記振動板は、前記第1、第2のカバーによる挟持部内方に舌片状の振動部を有し、この振動部の表、裏面には励振用電極を形成し、これらの表、裏面の励振用電極からはそれぞれ振動部の根元部分を介してリード電極を引出し、これら表、裏のリード電極は、前記第1、第2のカバーの少なくとも一方に設けた貫通孔を封口した導電性の封口体を介してその外面側に設けた外部電極に電気的に接続する構成とし、この貫通孔は先ず大きな砥粒で第1のサンドブラストを行い、次に前記第1のサンドブラストの砥粒よりも小さな砥粒を用いて第2のサンドブラストを行い、その後エッチングして形成し、次にこの貫通孔内壁面に導電膜を形成する振動子の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/13 ,  H03H 9/19

FI (3件)：

H03H 3/02 B ,  H03H 9/13 ,  H03H 9/19 A