アクティブ型除振装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野田茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-348095
公開番号（公開出願番号）：特開2000-170827
出願日： 1998年12月08日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】広い範囲の振動を良好に抑制することが可能なアクティブ型除振装置を提供する。【解決手段】基台200には、定盤300に水平方向の変位を加えて水平方向に変位させるための水平小変位アクチュエータ420が配設されている。定盤300には、上下小振動センサ304と水平小振動センサ306が配設されている。ベース部100の底壁102上に配設された上下大変位アクチュエータ502によって基台200を支持している。ベース部100には、基台200に水平方向の変位を加えて水平方向に変位させるための水平大変位アクチュエータ520が配設されている。基台200には、基台200における上下方向の加速度を検出する上下大振動センサ204と水平方向の加速度を検出する水平大振動センサ204が配設されている。

請求項（抜粋）：

下部構造体上に設けられた基台と、基台上において上下および水平方向に移動可能に支持され被除振体が取付けられる定盤と、前記定盤の上下および水平方向の比較的小さな加速度の振動を検出する第1振動検出手段と、前記第1振動検出手段により検出した上下および水平方向の加速度に対応して前記定盤を変位することにより、前記被除振体の上下および水平方向の振動を除去する第1除振装置部とを備えたアクティブ型除振装置において、前記基台の下方で下部構造体上に基礎構造体を設け、前記基礎構造体と基台との間に第2除振装置部を設け、前記基台に該基台の上下および水平方向の加速度を検出する第2振動検出手段を設け、前記第2振動検出手段は前記第1振動検出手段により検出される加速度よりも大きな振動を検出可能に構成され、前記第2除振装置部は、前記第2振動検出手段によって検出された上下方向の振動の加速度に対応して前記基台を上下方向に変位させることにより、前記基台の上下方向の振動を除去するように構成された上下除振機構と、前記第2振動検出手段によって検出された水平方向の振動の加速度に対応して前記基台を水平方向に変位させることにより、前記基台の水平方向の振動を除去するように構成された水平除振機構を備えたこと、を特徴とするアクティブ型除振装置。

IPC (4件)：

F16F 15/02 , H01L 21/027 , H01L 41/09 , H01L 41/12

FI (4件)：

F16F 15/02 A , H01L 41/12 , H01L 21/30 503 F , H01L 41/08 C

Fターム (12件)：

3J048AA06 , 3J048AB11 , 3J048AC08 , 3J048AC10 , 3J048AD02 , 3J048DA05 , 3J048EA13 , 5F046AA23 , 5F046DA04 , 5F046DA30 , 5F046DB14 , 5F046DC14

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