特許

J-GLOBAL ID：200903013056038418

測定試料解析装置および方法

発明者： 吉澤 隆
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-116280
公開番号（公開出願番号）：特開2001-296108
出願日： 2000年04月18日
公開日（公表日）： 2001年10月26日
要約：

【要約】【課題】 種類の異なる測定試料を連続して解析することができる。【解決手段】 膜厚算出装置7は、基板処理装置12と通信を行なう通信制御部14と、測定試料の機種に関するデータ、それぞれの機種に対応した試料モデルおよび薄膜4の膜厚測定結果を記憶する記憶装置16と、基板処理装置12から与えられた測定試料の機種情報に基づいて、試料モデルおよび膜厚の良否を判定する良否判定データを読出すデータ機種選択部15と、データ機種選択部15より与えられた試料モデル名に対応する試料モデルを記憶装置16より読出し、その試料モデルと、分光器6より得られる波長ごとの光強度とから薄膜4の膜厚を測定し、記憶装置16に記憶する測定制御部19と、膜厚の測定結果とデータ機種選択部15より与えられる良否判定データとを比較する良否判定部18と、膜厚の測定結果より経時変化とバラツキとを求める統計解析部17とを含む。

請求項（抜粋）：

測定試料に対して光を照射するための照射手段と、前記測定試料からの反射光を受光するための受光手段と、受光した前記測定試料からの反射光を波長ごとに分光する分光手段と、外部より前記測定試料の種類を取得するための取得手段と、複数の測定試料の各々について設けられた測定試料の特性情報を記憶するための記憶手段と、前記分光手段、前記取得手段および前記記憶手段に接続され、前記測定試料の種類に対応する特性情報を前記記憶手段より読込み、前記特性情報と前記分光手段で分光された前記反射光の光強度とから、前記測定試料を解析するための測定試料解析手段とを含む、測定試料解析装置。

IPC (6件)：

G01B 11/06 ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/45 ,  G01J 9/02 ,  G01N 21/45 ,  H01L 21/66

FI (6件)：

G01B 11/06 Z ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/45 ,  G01J 9/02 ,  G01N 21/45 A ,  H01L 21/66 P

Fターム (69件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065CC17 ,  2F065CC25 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065EE00 ,  2F065FF61 ,  2F065GG13 ,  2F065GG24 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL03 ,  2F065LL04 ,  2F065LL30 ,  2F065LL67 ,  2F065NN20 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ41 ,  2F065RR06 ,  2F065SS01 ,  2F065SS03 ,  2F065SS09 ,  2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020BA20 ,  2G020CB26 ,  2G020CB33 ,  2G020CB42 ,  2G020CB43 ,  2G020CC01 ,  2G020CC49 ,  2G020CC63 ,  2G020CD04 ,  2G020CD12 ,  2G020CD24 ,  2G020CD33 ,  2G020CD36 ,  2G020CD37 ,  2G059AA03 ,  2G059BB20 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM02 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DH37 ,  4M106DH49 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ38