特許
J-GLOBAL ID：200903013056749578
サーマルヘッド用耐摩耗性保護膜
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-281079
公開番号（公開出願番号）：特開平6-106752
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 Si-O-N系のサーマルヘッド用耐摩耗性保護膜の内部応力を低下させ、耐クラック性にすぐれた保護膜を提供すること。【構成】 Si、O及びNを主たる構成元素とするサーマルヘッド用耐摩耗性保護膜において、Be、Mg、Ca、Sr、Ba、及びRaよりなる群から選択された少なくとも一種のアルカリ土類金属を含有させたことを特徴とするサーマルヘッド用耐摩耗性保護膜。
請求項（抜粋）：
Be、Mg、Ca、Sr、Ba及びRaよりなる群から選択された少なくとも一種のアルカリ土類金属とSi、O及びNを主たる構成元素とするサーマルヘッド用耐摩耗性保護膜。
IPC (2件)：
引用特許：
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