特許

J-GLOBAL ID：200903013059393456

薄膜磁気ヘッド

発明者： 菱田 達朗
出願人/特許権者： リードライト・エスエムアイ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350853
公開番号（公開出願番号）：特開平9-180128
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】 薄膜磁気ヘッドの基板上に形成された絶縁膜の密着性・耐剥離性を向上する。【解決手段】 RIE法によりエッチングしてアルミナ部分を選択的に除去し、凸部をTiCとする多数の凹凸を形成したアルチック基板表面に、Al2O3からなる絶縁膜をスパッタリングで形成し、その上に電磁変換素子回路を積層する。【効果】 基板表面と絶縁層との接触面積が増えるので、特にTiCが突出していることでTiCと絶縁膜のAl2O3との接触面積が増え、両膜間の密着力が向上し、耐剥離性が著しく向上する。従って、製造上の歩留まりが向上すると共に製造されたヘッドの耐久性も向上し、スライダの小型化が容易に図れる。

請求項（抜粋）：

アルミナ-チタンカーバイト(Al2O3-TiC)からなる基板と、前記基板上に形成されたアルミナ(Al2O3)からなる絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された電磁変換素子回路とを有する薄膜磁気ヘッドであって、前記基板表面のアルミナ部分をエッチングすることにより、該基板表面にチタンカーバイト(TiC)部分を凸部とする多数の凹凸が形成され、この凹凸をなす表面に前記絶縁膜が成膜されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。

IPC (2件)：

G11B 5/31 ,  G11B 5/60

FI (3件)：

G11B 5/31 G ,  G11B 5/60 Y ,  G11B 5/60 B