特許

J-GLOBAL ID：200903013059551590

エアーロック室およびそのクリーニング方法

発明者： 永山 勉
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-344487
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196542
出願日： 1992年12月24日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【構成】 N2 ガスをチャンバー1内に吹き出させるためのガス導入部8が備えられており、上記ガス導入部8にはチャンバー1内の広い範囲にN2 ガスを吹き出させるための複数の吹き出し口8a...が設けられており、N2 ガスを吹き出させた状態でシャッター2の開閉を行うエアーロック室および、エアーロック室のチャンバー1内を排気するステップと、チャンバー1内にN2 ガスを導入するステップとを交互に繰り返すエアーロック室のクリーニング方法。【効果】 チャンバー1およびチャンバー1内にセットされたシリコンウエハー7...の表面が汚れにくくなり、チャンバー1の壁面に吸着したサブミクロン・サイズの粒子を大幅に取り除くことができる。

請求項（抜粋）：

チャンバーと、チャンバーを開閉するためのシャッターと、チャンバー内を排気するための真空ポンプと、チャンバー内にベントガスを導入するための導入ラインと、導入ラインからのベントガスをチャンバー内に吹き出させるためのガス導入部とが備えられており、上記ガス導入部にはチャンバー内の広い範囲にベントガスを吹き出させるための複数の吹き出し口が設けられており、ベントガスを吹き出させた状態でシャッターの開閉を行うことを特徴とするエアーロック室。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00 ,  B65G 49/07 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/317 ,  H01L 21/265

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-216823
  
• 特開平4-352326
  
• 特開平2-077579
  
• 特開平4-002147