ペースト塗布機

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193283
公開番号（公開出願番号）：特開平9-038558
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月10日
要約：

【要約】【目的】ペーストカ-トリッジを交換あるいは装填したときのノズルのペースト吐出口から基板表面までの距離を容易に校正することができるようにする。【構成】 Z軸モータ11によって上下する支持部材4aに距離センサ3と係合部19bと支持部材20とが設けられ、ペーストカートリッジPCは、スライド部19aと係合部19bとで支持部材4aに対してスライド可能で、また、取外し可能である。ペーストカートリッジPCの固定部材18の下面は支持部材20に設けられた微調節器21の可動部21aで支持されている。図示するようにペーストカートリッジPCが取り付けられると、距離センサ3が規定の距離を検出するまで支持部材4aを降下させる。このとき、ノズル1は基板7に当接している。そして、微調節器21を操作して可動部21aにより、接触検出センサ22で所定の高さが検出されるまで、ペーストカートリッジPCを上昇させる。

請求項（抜粋）：

ノズルのペースト吐出口に対向するように基板をテーブル上に載置し、ペースト収納筒部に充填したペーストを該ペースト吐出口から該基板上に吐出させながら、該ノズルと該基板との間の相対的な位置関係を変化させることにより、該基板上に所望のパターン形状にペーストを塗布描画するペースト塗布機において、該ペースト収納筒部を該基板の垂直方向に移動可能に支持するZ軸テーブル部と、該ペースト収納筒部の一部に下方から当接する可動部を有し、該Z軸テーブル部に固定された微調節部と、該Z軸テーブル部を該基板の表面に垂直方向に駆動するZ軸駆動部と、該ペースト収納筒部と該Z軸テーブル部との垂直方向における相対的位置関係を検出する検出部と、該検出部の検出結果に基づいて、該ペースト収納筒部が該Z軸テーブル部に対して所望の位置関係以上に該基板から離れると、警告を出す警告部とを備えたことを特徴とするペースト塗布機。

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