特許

J-GLOBAL ID：200903013062301325

研磨パッド

発明者： 伊藤 秀文
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-000286
公開番号（公開出願番号）：特開2003-205451
出願日： 2002年01月07日
公開日（公表日）： 2003年07月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 研磨に必要な溝の相対的な剛性の低下を低減させることなく研磨パッドの寿命を判別(検出)する。【解決手段】 被研磨物を載置する定盤と対向する位置に設けられた研磨パッド11において、研磨するのに必要な所望の研磨用溝12又は穴、及び該研磨用溝の深さ寸法より浅い寿命判別用溝13又は穴を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被研磨物を載置する定盤と対向する位置に設けられた研磨パッドにおいて、研磨するのに必要な所望の研磨用溝及び該研磨用溝の深さ寸法より浅い寿命判別用溝を有することを特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (4件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12