特許
J-GLOBAL ID：200903013081768579
半導体素子検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099191
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308038
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 半導体素子の透明樹脂の形状欠陥等を樹脂の種類や大きさに関係なく安定に判別できる半導体素子検査装置を提供する。【構成】 LED素子部1aとリード部1bと透明樹脂部1cとを有した半導体素子1の前記透明樹脂部1cを直線状に配列するためのホルダー部2と、ホルダー部2とともに透明樹脂部1cを移動させる移動ライン3と、透明樹脂部1cにビーム4aを照射する発光部4と、拡散反射光であるビーム4bを受ける受光部5と、受光部5に反射光の焦点を合わせるための楕円反射鏡6とで構成した。受光部5で透明樹脂部1cの凹凸部等の欠陥面から拡散反射してくるビーム4bを受光し、これを光電変換して得た電気信号の出力レベルに基づいて透明樹脂部1cの表面形状欠陥、内部のボイド等の良否を判別する。
請求項（抜粋）：
発光ダイオード部、リード部および透明樹脂部を有した被検査対象の半導体素子の前記透明樹脂部を直線状に配列するホルダー部と、前記ホルダー部とともに前記透明樹脂部を移動させる移動ラインと、前記透明樹脂部に第1ビームを照射する発光部と、前記発光部から発せられた第1ビームの拡散反射光である第2ビームを受ける受光部と、前記受光部に反射光の焦点を合わせる楕円反射鏡とを備えていることを特徴とする半導体素子検査装置。
IPC (2件)：
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