特許
J-GLOBAL ID：200903013087017508
ノッチ合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-223927
公開番号（公開出願番号）：特開2002-043393
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：
【要約】【課題】ウェハのノッチ位置を、正確にしかも短時間で検出して位置合わせできるノッチ合わせ装置を提供すること。【解決手段】ウェハ3の外周面を把持する3個のクランプレバー23は、一端に把持部23aが形成され他端にローラ24を装着している。ローラ24は、回転中心位置にあるレバー作動ピン22のテーパ面22aに、コイルばね28の付勢力で押圧され、レバー作動ピン22の上下動により、クランプレバー23が放射線方向に沿って移動する。ウェハ3の上方に配置されたクランプレバー23の回転中心側への移動により、把持部23aがウェハ3を把持するとともに、ウェハ3の回転中、ウェハ3の下方から2か所に配置されたセンサ41でウェハ3のノッチ位置を検出する。
請求項（抜粋）：
ノッチが形成されたウェハを保持する保持手段と、前記保持手段を回転する回転駆動手段と、前記ウェハの回転中にノッチ位置を検出する検出手段と、を備え、前記ウェハのノッチ位置を基準回転位置に一致させるように構成されたノッチ合わせ装置において、前記保持手段は、搬送された前記ウェハの上方に配置されるとともに前記ウェハの外周面を把持可能に構成され、前記検出手段が前記ウェハの下方に配置されていることを特徴とするノッチ合わせ装置。
Fターム (18件)：
5F031CA02
, 5F031HA24
, 5F031HA27
, 5F031HA30
, 5F031HA46
, 5F031HA59
, 5F031JA02
, 5F031JA05
, 5F031JA15
, 5F031JA17
, 5F031JA34
, 5F031JA35
, 5F031KA13
, 5F031KA14
, 5F031LA14
, 5F031LA15
, 5F031PA18
, 5F031PA23
