特許
J-GLOBAL ID：200903013088946642
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-200595
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020634
出願日： 1992年07月03日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 表面原子配列の実空間分布観察が可能な走査電子顕微鏡を提供すること。【構成】 電子ビームを細く収束して試料表面を走査し、その際に発生する二次電子を二次電子検出手段に引き込み、二次電子検出手段からの信号を電子ビームの走査と同期させて表示することにより試料表面の走査像を得る走査電子顕微鏡において、試料を挟んで前記二次電子検出手段と反対側に正電圧を印加できる電極を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電子ビームを細く収束して試料表面を走査し、その際に発生する二次電子を二次電子検出手段に引き込み、二次電子検出手段からの信号を電子ビームの走査と同期させて表示することにより試料表面の走査像を得る走査電子顕微鏡において、試料を挟んで前記二次電子検出手段と反対側に正電圧を印加できる電極を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
引用特許：
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