特許

J-GLOBAL ID：200903013097751412

分析装置

発明者： 佐藤 友香 ,  野牧 辰夫 ,  吉田 孝 ,  酒井 公人
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-065854
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258218
出願日： 1998年03月16日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 常温で部材から発生する物質を高感度、高精度且つ簡便に分析すること。【解決手段】 部材収納容器の内壁面の全面を覆うように捕集剤を配置し、更に、この捕集剤の内部に被測定部材を載置した後、ポンプを動作して、ガス導入管から清浄ガスを導入して、常温の部材からの発生物質をロスなく捕集剤で捕集する。その後、被測定部材を取り除き、加熱ヒーターで部材収納容器及びガス排出管を300°Cに加熱して、捕集剤から捕集物質を分離し、これを測定装置に導入して分析する。この際、部材収納容器及び排出管は加熱されているため、分離物質が部材収納容器及びガス排出管の内壁に吸着されず、ロスなく捕集物質を測定装置に供給できる。これにより、被測定部材からの微量発生物質や前記容器及び前記排出管の内壁に吸着されやすい発生物質でも、高感度、高精度で分析することができる。

請求項（抜粋）：

ガス導入口とガス排出口を有し、内部に被測定部材を収納する容器と、前記容器の内壁に形成され、且つ外部のガス排出管に連通するガス排出口を少なくとも覆うように配置された捕集剤とを備えたことを特徴とする分析装置。

IPC (3件)：

G01N 30/00 ,  G01N 1/22 ,  G01N 30/08

FI (3件)：

G01N 30/00 E ,  G01N 1/22 L ,  G01N 30/08 G