特許
J-GLOBAL ID：200903013098142347
新規なコポリマーとコポリマー樹脂バインダー成分からなるフォトレジスト組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐伯 憲生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-188849
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186665
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明は新規な共重合体及び該共重合体を樹脂バインダ成分として含有するフォトレジスト組成物を提供する。【解決手段】 本発明の好ましい共重合体は、三つの明確に区別しうる繰り返し単位:即ち、(1)酸活性基を含有する単位、(2)反応性部分及びヒドロキシ部分を含有しない単位、及び(3)樹脂バインダとして該共重合体を含有するフォトレジストの水性現像に寄与する単位を含むものである。本発明のフォトレジストにより、プラズマエッチング耐性や孤立ライン特性の著しい向上並びに解像度の良好な制御など、リソグラフィー性能の驚くべき改良がなされる。
請求項（抜粋）：
光活性成分と、コポリマーを含有する樹脂バインダーとを含んでなるフォトレジスト組成物であって、該コポリマーは、(1)酸活性基を含有する単位と、(2)反応基及びヒドロキシ基を含有しない単位と、(3)樹脂バインダーとして該コポリマーを含有するフォトレジストの水性現像に寄与する単位とを含むことを特徴とする前記フォトレジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/30
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/30
, H01L 21/30 502 R
, H01L 21/30 569 F
