特許
J-GLOBAL ID：200903013098772944
傾斜機能薄膜
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
,
,
代理人 (1件)：
小松 秀岳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-234803
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339702
出願日： 1991年09月13日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 金属からセラミックスへの組織傾斜に加えて、非晶質から結晶質への組織傾斜を有する薄膜を提供する。【構成】 非晶質材料と、この非晶質材料の成分を有する結晶質材料とから構成され、結晶質材料の濃度比が表面から反対面にかけて連続的に変化している薄膜である。非晶質材料は、特に、一般式:AlaMbLnc(M:V,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zr,Ti,Mo,W,Ca,Li,Mgから選ばれる一種もしくは二種以上の元素、Ln:Y,La,Ce,Sm,Nd,Hf,Nb,Taから選ばれる一種もしくは二種以上の元素またはMm〈ミッシュメタル〉、a、b、cは原子%で50≦a≦95、0.5≦b≦35、0.5≦c≦25)であるものがよい。【効果】 本発明の薄膜は、機械的、電気的に優れた特性を示すとともに、セラミック材料の欠点である延性を緩和することができるので、電気電子材料、高強度材料、耐高温材料などに使用できる。
請求項（抜粋）：
少なくとも体積率で50%以上の非晶質相を有する非晶質材料とこの非晶質材料の成分を有する結晶質材料とから構成され、非晶質材料表面から非晶質材料中の結晶質材料の体積比が連続的に変化し最終的にその表面が少なくとも窒化物、酸化物または炭化物を含む結晶質材料により形成されていることを特徴とする傾斜機能薄膜。
IPC (6件)：
C23C 14/06
, C01G 1/00
, C03C 17/36
, C04B 35/58 101
, C23C 16/32
, C23C 16/34
C04B 35/56 Z
, C04B 35/58 106 Z
