特許
J-GLOBAL ID：200903013099769459
パターン焼付装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-106885
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278634
出願日： 1995年04月05日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】 長尺素材を支持する支持部材から滓が発生することを防止したパターン焼付装置を提供する。【構成】 長尺素材(4)のレジスト膜が形成された主面側から長尺素材(4)を弾性的に支持するゴムパッキング(7)と、ゴムパッキング(7)を覆うとともにレジスト膜(5)に当接される被覆手段(1)とを有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
長尺素材の主面に形成されたレジスト膜に所定のパターンを焼き付けるパターン焼付装置において、その主面に所定のパターンを有し、かつレジスト膜に密着されるパターン板と、長尺素材のレジスト膜が形成された主面側から長尺素材を弾性的に支持する支持部材と、支持部材を覆うとともにレジスト膜と支持部材との間に介在する被覆手段と、パターン板を介してレジスト膜に光を照射する照射手段と、パターン板をレジスト膜に密着させる密着手段と、を有することを特徴とするパターン焼付装置。
IPC (3件)：
G03F 7/22
, H01J 29/07
, H04N 5/65
G03F 7/22 Z
, H01J 29/07 Z
, H04N 5/65
