特許
J-GLOBAL ID：200903013102884078
カンチレバー励振装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068611
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267947
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】簡単な構成によって、カンチレバーを所望の方向に精度良く励振可能であって且つ高い剛性を確保可能なカンチレバー励振装置を提供する。【解決手段】ホルダ2に支持されたカンチレバー4と、このカンチレバーを励振させるアクチュエータ8と、このアクチュエータによって励振しているカンチレバーのたわみ振幅特性及びねじれ振幅特性を夫々検出可能なたわみ振幅検出回路18及びねじれ振幅検出回路22とを備えており、たわみ振幅特性及びねじれ振幅特性に基づいて、アクチュエータを制御することによって、カンチレバーを所定の周波数でたわみ方向及びねじれ方向に同時に励振させる。
請求項（抜粋）：
ホルダに支持されたカンチレバーと、このカンチレバーを励振させる励振手段と、この励振手段によって励振している前記カンチレバーのたわみ振幅特性及びねじれ振幅特性を夫々検出可能な振幅検出系とを備えており、前記たわみ振幅特性及び前記ねじれ振幅特性に基づいて、前記励振手段を制御することによって、所定の周波数で前記カンチレバーをたわみ方向及びねじれ方向に同時に励振させることが可能なカンチレバー励振装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
