特許
J-GLOBAL ID：200903013105621140
ディスク用被膜形成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323639
公開番号（公開出願番号）：特開平6-142594
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：
【要約】【目的】装置の小型化と簡略化を図り,装置全体の処理時間を大幅に短縮して高速化をはかること。【構成】間欠的に回転する第1のターンテーブル,該第1のターンテーブルに設けられた複数のディスク受け台,該ディスク受け台にディスクを供給する一対の第1,第2の旋回移載アーム,前記ディスク受け台上に載置されたディスクに被膜形成液を供給する1つ以上の被膜形成液吐出ノズル,前記第1のターンテーブルに隣接して配置された一対のスピンナ,前記第1のターンテーブルの回転に伴い送られてきた一対の前記ディスクを受け渡し位置でほぼ同時に前記一対のスピンナのそれぞれに移載する一対の第3,第4の旋回移載アーム,前記一対のスピンナに隣接して配置されて間欠的に回転する第2のターンテーブル,この第2のターンテーブルに備えられた互いに近接する一対のディスク受け台複数,前記一対のスピンナで被膜形成のされたそれぞれの一対のディスクを前記第2のターンテーブルの受取り位置でそのディスク受け台にそれぞれ移載する一対の第5,第6の旋回移載アーム備える。
請求項（抜粋）：
間欠的に回転する第1のターンテーブル,該第1のターンテーブルに設けられた複数のディスク受け台,該ディスク受け台にディスクを供給する一対の第1,第2の旋回移載アーム,前記ディスク受け台上に載置されたディスクに被膜形成液を供給する1つ以上の被膜形成液吐出ノズル,前記第1のターンテーブルに隣接して配置された一対のスピンナ,前記第1のターンテーブルの回転に伴い送られてきた一対の前記ディスクを受け渡し位置でほぼ同時に前記一対のスピンナのそれぞれに移載する一対の第3,第4の旋回移載アーム,前記一対のスピンナに隣接して配置されて間欠的に回転する第2のターンテーブル,この第2のターンテーブルに備えられた互いに近接する一対のディスク受け台複数,前記一対のスピンナで被膜形成のされたそれぞれの一対のディスクを前記第2のターンテーブルの受取り位置でそのディスク受け台にそれぞれ移載する一対の第5,第6の旋回移載アーム,前記一対のディスク受け台のそれぞれの前記ディスクに形成された被膜を硬化させる被膜硬化装置,および前記第2のターンテーブルのディスク受け台に載置されたディスクを排出するディスク排出手段を備えたことを特徴とするディスク用被膜形成装置。
IPC (5件)：
B05C 11/08
, B05C 13/02
, G03F 7/16 502
, G11B 5/84
, G11B 7/26 531
