特許

J-GLOBAL ID：200903013113040572

放射線感応性樹脂組成物およびそれを用いたレジストパターンの形成方法

発明者： 伊東 敏雄
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-131363
公開番号（公開出願番号）：特開平8-328255
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】 高融点金属膜の加工が容易でかつ製造工程数を低減できる放射線感応性樹脂組成物を提供する。【構成】 この放射線感応性樹脂組成物は、単量体単位毎にR-O-Ti結合(ただし、Rはアルキル基を表す。)を有するポリ(チタノキサン)と、放射線の作用により分解して酸を発生する酸発生剤とを含む。

請求項（抜粋）：

単量体単位毎にR-O-Ti結合(ただし、Rはアルキル基を表す。)を有するポリ(チタノキサン)と、放射線の作用により分解して酸を発生する酸発生剤とを含むことを特徴とする放射線感応性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  C08L 85/00 LSA ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/039 501 ,  C08L 85/00 LSA ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 502 R