特許

J-GLOBAL ID：200903013118401263

IC試験装置

発明者： 小山 清明
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207428
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055892
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 テストヘッドにおけるアナログ信号の減衰量を把握することにより、被試験対象の試験を精度よく行えるIC試験装置を実現することを目的にする。【構成】 本発明は、被試験対象に対してアナログ信号をテストヘッドを介して入力あるいは出力を行い、被試験対象の試験を行うIC試験装置に改良を加えたものである。本装置は、テストヘッドにおけるアナログ信号の減衰量を扱う周波数ごとに記憶する記憶部と、この記憶部の減衰量に基づいて、アナログ信号の振幅を扱う周波数に応じて調整する制御部と、を具備したことを特徴とする装置である。

請求項（抜粋）：

被試験対象に対してアナログ信号をテストヘッドを介して入力あるいは出力を行い、被試験対象の試験を行うIC試験装置において、前記テストヘッドにおけるアナログ信号の減衰量を扱う周波数ごとに記憶する記憶部と、この記憶部の減衰量に基づいて、アナログ信号の振幅を扱う周波数に応じて調整する制御部と、を具備したことを特徴とするIC試験装置。