X線回折装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-045438
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258260
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】二次元位置検出器で検出したX線回折パターンから多結晶体試料の結晶状態のその場測定を行う。【構成】二次元位置検出器にデータ処理系を接続してX線回折パターンから幅数、強度、位置のデータ要素に分けて、そこから結晶粒径、結晶化度、結晶方位、残留応力等の知りたい結晶情報を求め、一次元、二次元、三次元、あるいは時間軸でマッピングする。

請求項（抜粋）：

X線を発生するX線管球と、前記X線をヘリウムガス中にて通過させるパイプと、前記パイプを通過したX線を試料表面にて微少スポットにして照射するためのX線集光ミラーと、前記微少スポットにて照射される試料をX線光軸方向に移動可能にするXステージと、前記Xステージの上に載置され前記試料を前記X線光軸を回転軸にして回転可能な回転ステージと、前記回転ステージに取り付けられ、前記試料の前記X線スポット照射位置を一定にして傾け可能なゴニオステージと、前記ゴニオメータに載置され試料をXY方向に移動させる二次元走査ステージと、前記試料から前記X線スポット照射により回折された回折X線を二次元的に観察する二次元位置検出器よりなることを特徴とするX線回折装置。

引用特許：

審査官引用 (22件)

特開昭58-071624
特開平2-198400
特開平4-206129

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