赤外線センサおよびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤島洋一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-140449
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160173
出願日： 1991年06月12日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】簡単な構成で、複数の赤外線感応部のうち特定の赤外線感応部にのみ選択的に赤外線を入射でき、赤外線感応部間の差動出力を精度良く検出できる赤外線センサを提供する。【構成】シリコン基板12の裏面に形成されたシリコンオキシナイトライド膜15には、一方の赤外線感応部16bが形成された架橋部14bに対応する位置に赤外線透過窓17が設けられている。赤外線透過窓17は空洞部13を介して架橋部14a、14bそれぞれに連通している。シリコンオキシナイトライド膜15の表面、および赤外線透過窓17に対応する位置の架橋部14bの裏面にはそれぞれ赤外線吸収膜18が形成されている。赤外線透過窓17と赤外線感応部16a、16bそれぞれとの間の距離は、シリコン基板12の厚さに等しくなっている。シリコン基板12の裏面側から入射し、赤外線透過窓17を透過した赤外線は、空洞部13を通して、一方の赤外線感応部16bにのみ正確に入射される。

請求項（抜粋）：

半導体材料により形成されたセンサ基板と、このセンサ基板の一方の面側に設けられた複数の架橋部と、これら架橋部上にそれぞれ1個ずつ設けられた赤外線感応部と、前記センサ基板の他方の面側に設けられた赤外線非透過膜と、前記複数の赤外線感応部のうち特定の赤外線感応部に対応させて前記赤外線非透過膜に形成されるとともに、前記特定の赤外線感応部が形成された架橋部の裏面に連通する赤外線透過窓とを備えたことを特徴とする赤外線センサ。

IPC (2件)：

G01J 1/02 , G01J 5/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭64-096548
特開昭52-134786
特開昭64-096548

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