特許
J-GLOBAL ID:200903013119484570

フィルターの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-200512
公開番号(公開出願番号):特開平8-057225
出願日: 1994年08月25日
公開日(公表日): 1996年03月05日
要約:
【要約】【目的】 撥水性及び撥油性に富み、再利用可能なフィルターを製造する方法を提供する。【構成】 連通気孔を有する3次元網目状多孔体材料を、少なくとも一方の対向面に固体誘電体が配置された金属電極間に配置し、0.01〜10体積%のフッ素含有ガスと99.99〜90体積%の不活性ガスとからなる混合ガスの雰囲気中、100〜800Torrの圧力下で、対向電極に電圧を印加することにより発生する放電プラズマを、上記3次元網目状多孔体材料に接触させて、上記3次元網目状多孔体材料の骨格表面をフッ素化することよりなるフィルターの製造方法。
請求項(抜粋):
連通気孔を有する3次元網目状多孔体材料を、少なくとも一方の対向面に固体誘電体が配置された金属電極間に配置し、0.01〜10体積%のフッ素含有ガスと99.99〜90体積%の不活性ガスとからなる混合ガスの雰囲気中、100〜800Torrの圧力下で、対向電極に電圧を印加することにより発生する放電プラズマを、前記3次元網目状多孔体材料に接触させて、前記3次元網目状多孔体材料の骨格表面をフッ素化することを特徴とするフィルターの製造方法。
IPC (3件):
B01D 39/16 ,  B29D 31/00 ,  C08J 7/18

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