特許

J-GLOBAL ID：200903013119762570

照明光学装置、露光装置、およびデバイスの製造方法

発明者： 谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-355355
公開番号（公開出願番号）：特開2007-158271
出願日： 2005年12月08日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】 所望の偏光状態の光で被照射面を照明することのできる照明光学装置。【解決手段】 光源(1)からの光に基づいて被照射面(M)を照明する本発明の照明光学装置は、光源と被照射面との間の光路中に配置されて、入射光から所定の偏光状態の光だけを選択して射出する偏光子(12)と、偏光子と被照射面との間の光路中に配置されて、偏光子からの射出光の所定の偏光状態を実質的に維持しつつ被照射面へ導くための導光光学系(11b)とを備えている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

光源からの光に基づいて被照射面を照明する照明光学装置において、 前記光源と前記被照射面との間の光路中に配置されて、入射光から所定の偏光状態の光だけを選択して射出する偏光子と、 前記偏光子と前記被照射面との間の光路中に配置されて、前記偏光子からの射出光の前記所定の偏光状態を実質的に維持しつつ前記被照射面へ導くための導光光学系とを備えていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (2件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521

Fターム (5件)：

5F046CB05 ,  5F046CB12 ,  5F046CB13 ,  5F046CB15 ,  5F046CB23

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3246615号公報