特許

J-GLOBAL ID：200903013120794019

純水又は超純水の精製方法及び装置

発明者： 窪田 葉子 ,  斉藤 孝行 ,  中島 健 ,  嶋 弘之
出願人/特許権者： 株式会社荏原総合研究所 ,  株式会社荏原製作所 ,  荏原インフィルコ株式会社
代理人 (1件)： 吉嶺 桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-140593
公開番号（公開出願番号）：特開平6-099197
出願日： 1991年05月17日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：

【要約】【構成】 純水又は超純水からさらに高純度の超純水を得る精製方法であって、前記精製方法が、(イ)原水又は循環超純水1にオゾンを溶解する工程3、(ロ)(イ)の処理水に紫外線を照射する工程11、(ハ)パラジウムを担持した気体透過膜13の接液側に(ロ)の処理水を通水し、接ガス側に水素を供給する工程、(ニ)(ハ)の処理水をH型強酸性カチオン交換樹脂とOH型アニオン交換樹脂とを混合したイオン交換樹脂層18に通水する工程、(ホ)(ニ)の処理水を限外ろ過する工程19、からなり、前記の(イ)の工程は、原水の一部にオゾンを溶解し、該オゾン溶解水と残部の純水又は超純水とを混合する工程としてもよい。【効果】 有機物質、生菌及び溶存酸素の極めて少ない超純水を得ることができる。

請求項（抜粋）：

純水又は超純水からさらに高純度の超純水を得る精製方法であって、前記精製方法が、(イ)原水にオゾンを溶解する工程、(ロ)(イ)の処理水に紫外線を照射する工程、(ハ)パラジウムを担持した気体透過膜の接液側に(ロ)の処理水を通水し、接ガス側に水素を供給する工程、(ニ)(ハ)の処理水をH型強酸性カチオン交換樹脂とOH型アニオン交換樹脂とを混合したイオン交換樹脂層に通水する工程、(ホ)(ニ)の処理水を限外ろ過する工程、からなることを特徴とする純水又は超純水の精製方法。

IPC (7件)：

C02F 9/00 ,  B01D 61/18 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/70 ,  C02F 1/78