特許
J-GLOBAL ID：200903013121155095
キャリアカセットの管理方法および管理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-338478
公開番号（公開出願番号）：特開平6-183524
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：
【要約】【目的】 キャリアカセットの劣化状態(清浄度、形状、静電気量)を、前記キャリアカセットの用途別に自動で管理する。【構成】 キャリアカセットを、前記キャリアカセットに設けられるキャリアカセット識別コード単位に管理するキャリアカセットの管理方法および管理装置であって、前記管理装置は、全体を管理するホストコンピュータ50と、ショップごとに前記キャリアカセットを保管する拡散/インプラ/アニール処理ショップ内ウェハキャリアカセット自動ストッカ58と、半導体ウェハに処理を施す半導体ウェハ処理装置22と、ウェハキャリアカセットの使用来歴を判定するウェハキャリアカセット使用来歴(アクセス回数)判定装置25と、ウェハキャリアカセットを洗浄するキャリアカセット洗浄装置26とから構成されるものである。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハなどの板状物のキャリアカセットを管理する方法であって、前記キャリアカセットに、前記キャリアカセットを識別するキャリアカセット識別コードを設け、前記キャリアカセット識別コード単位に、キャリアカセットの使用来歴をデータベースとして、コンピュータが管理することを特徴とするキャリアカセットの管理方法。
IPC (3件)：
B65G 1/137
, H01L 21/02
, H01L 21/68
