特許

J-GLOBAL ID：200903013128987231

微粒子成分分析装置

発明者： 植田 敏嗣 ,  若松 宗明
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-158037
公開番号（公開出願番号）：特開2001-337030
出願日： 2000年05月29日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【課題】 ブレークダウンの促進を図った微粒子測定装置を提供する。【解決手段】 セル内に微粒子を導入する手段と、セル内の微粒子にレーザ光を照射する手段と、レーザ光の照射によりブレークダウンして発光する微粒子の光を伝送する伝送手段と、伝送手段により伝送された光を分光する分光手段と、分光された光を受光する光検出器を具備し、前記微粒子の大きさや成分を分析する微粒子成分分析装置において、前記セル内にアシストガスを導入する手段を設け微粒子のブレークダウンの促進を図った。

請求項（抜粋）：

セル内に微粒子を導入する手段と、セル内の微粒子にパルスレーザを照射する手段と、パルスレーザの照射によりブレークダウンして発光する微粒子の光を伝送する伝送手段と、伝送手段により伝送された光を分光する分光手段と、分光された光を受光する光検出器を具備し、前記微粒子の大きさや成分を分析する微粒子成分分析装置において、前記セル内にアシストガスを導入する手段を設け微粒子のブレークダウンの促進を図ったことを特徴とする微粒子成分分析装置。

IPC (2件)：

G01N 15/14 ,  G01N 21/63

FI (3件)：

G01N 15/14 D ,  G01N 15/14 Z ,  G01N 21/63 Z

Fターム (26件)：

2G043AA01 ,  2G043CA06 ,  2G043DA05 ,  2G043DA08 ,  2G043EA01 ,  2G043EA10 ,  2G043FA03 ,  2G043GA02 ,  2G043GA04 ,  2G043GA07 ,  2G043GB01 ,  2G043GB03 ,  2G043GB08 ,  2G043GB21 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA05 ,  2G043HA09 ,  2G043JA03 ,  2G043JA04 ,  2G043KA03 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA02 ,  2G043MA11 ,  2G043NA04