特許
J-GLOBAL ID：200903013129337176
表面欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-165486
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010054
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 被検査面にマーク用塗料を用いることなく、欠陥発生位置を知らせることのできる表面欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】 被検査物体102の表面に所定の明暗パターンを形成する照明手段100と、被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段101と、上記画像データに対して所定の処理を行い欠陥を検出する欠陥検出手段103と、上記検出した欠陥の被検査面上における発生位置を算出する演算制御手段104と、上記算出した欠陥発生位置情報に基づいて被検査面上の欠陥発生位置近傍に光を投影する投影手段105とを設けた。
請求項（抜粋）：
被検査面に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査物体表面に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、上記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、上記画像データに対して所定の処理を行い欠陥を検出する欠陥検出手段と、上記検出した欠陥の被検査面上における発生位置を算出する演算制御手段と、上記算出した欠陥発生位置情報に基づいて被検査面上の欠陥発生位置近傍に光を投影する投影手段と、を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/89 Z
, G01B 11/30 E
