特許

J-GLOBAL ID：200903013130680330

表面形状計測装置

発明者： 野中 義史 ,  横松 孝夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296123
公開番号（公開出願番号）：特開平6-147886
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 被測定面へのダメージの低減と応答性の高い荷重制御による計測の高速化という相反する要求を満たし、計測の高精度化、高速化と共に測定範囲の拡大により非球面形状を始めとする複雑形状に対応できる。【構成】 装置本体10は移動体3の移動基準となるフレーム4と不図示の制御装置を有し、フレーム4には移動体3がアクチュエータ5の駆動により上下方向に微小移動可能に形成されている。移動体3の上面には移動体3の変位量を検出する移動体変位検出手段7が離隔配置され、一方、移動体3の下面には平行ばね2が固設されている。平行ばね2の一端部には先端を鉛直下向きにした触針1が装着可能あるいは一体的に設けられているとともに、平行ばね2の変位量を検出する弾性体変位検出手段6が離隔配置されている。触針1の下方には被測定面を上方に向けた測定物9がステージ8上に保持されており、ステージ8は上下方向の移動可能に設置されている。

請求項（抜粋）：

被測定物の被測定面に対して触針を用いて接触走査し、前記被測定面の変位量をもとに表面形状を計測する表面形状計測装置において、前記被測定面と対向する位置に、前記被測定面と対向する方向に高い応答性を有するとともに微小移動可能に設けられた移動体と、該移動体に固設されて、前記被測定面に先端部を向けた前記触針が前記被測定面に対して変位可能に、かつ装着可能あるいは一体的に設けられた弾性体とで構成される荷重制御機構と、前記弾性体および前記移動体の各々に離隔配置され、前記弾性体および前記移動体の各変位量をそれぞれ検出する変位検出手段と、前記変位検出手段による検出結果に応じて、前記荷重制御機構を制御する制御装置を有し、前記制御装置は前記移動体の移動により前記被測定面に前記触針を接触させつつ設定荷重まで荷重をかけ、前記移動体の変位量と前記弾性体の変位量との差が前記設定荷重に相当する変位量と常に等しくなるように前記移動体の位置を制御することを特徴とする表面形状計測装置。