特許

J-GLOBAL ID：200903013133814930

圧電アクチュエータ

発明者： ルードルフ ハインツ ,  クラウス-ペーター シュモル ,  フリードリッヒ ベッキング
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-537712
公開番号（公開出願番号）：特表2001-516512
出願日： 1998年10月21日
公開日（公表日）： 2001年09月25日
要約：

【要約】本発明は圧電アクチュエータ(1)に関し、この圧電アクチュエータ(1)では従来技術に対してアクチュエータにおいて亀裂ができる傾向が明らかに低減され、亀裂の橋絡の可能性が改善されている。本発明の圧電アクチュエータ(1)は圧電材料から成る多数のプレート(2)を有し、このプレート(2)の分極方向はプレート平面に対して垂直に経過しており、プレート(2)はこの分極方向において積層方向に互いに上下に積層されており、2つの接続端子(12a、12b)を有する制御電圧源(11)を有し、それぞれ少なくとも2つの外部電極(3、5;4、6)の2つの群を有し、第1の群の外部電極(3、5)は制御電圧源(11)の第1の接続端子(12a)に電気的に接続され、第2の群の外部電極(4、6)は制御電圧源(11)の第2の接続端子(12b)に電気的に接続されており、外部電極(3、5;4、6)はそれぞれ圧電プレート(2)のスタックの異なる側面(16、17、18、19)に設けられており、多数の内部電極(7、8、9、10)を有し、これらの内部電極(7、8、9、10)はそれぞれ圧電プレート(2)の間に設けられており、さらに、内部電極(7、8、9、10)は外部電極(3、4、5、6)に交互に次のように接合されている、すなわち、それぞれ内部電極(7、9)は制御電圧源(11)の第1の接続端子(12a)に電気的に接続され、積層方向において直ぐ次の内部電極(8、10)は前記制御電圧源(11)の第2の接続端子(12b)に電気的に接続され、内部電極(7〜10)は外部電極(3〜6)に周期的な順番で接合されるように接合されている。

請求項（抜粋）：

圧電アクチュエータ(1)において、 該圧電アクチュエータ(1)は以下のものを有する、すなわち、 圧電材料から成る多数のプレート(2)を有し、該プレート(2)の分極方向はプレート平面に対して垂直に経過しており、前記プレート(2)はその分極方向の方向において積層方向に互いに上下に積層されており、 2つの接続端子(12a、12b)を有する制御電圧源(11)を有し、 それぞれ少なくとも2つの外部電極(3、5;4、6)の2つの群を有し、第1の群の外部電極(3、5)は前記制御電圧源(11)の第1の接続端子(12a)に電気的に接続され、第2の群の外部電極(4、6)は前記制御電圧源(11)の第2の接続端子(12b)に電気的に接続されており、前記外部電極(3、4、5、6)はそれぞれ圧電プレート(2)のスタックの異なる側面(16、17、18、19)に設けられており、 多数の内部電極(7、8、9、10)を有し、該内部電極(7、8、9、10)はそれぞれ前記圧電プレート(2)の間に設けられており、さらに、前記内部電極(7、8、9、10)は前記外部電極(3、4、5、6)に交互に次のように接合されている、すなわち、 それぞれ内部電極(7、9)は前記制御電圧源(11)の第1の接続端子(12a)に電気的に接続され、積層方向において直ぐ次の内部電極(8、10)は前記制御電圧源(11)の第2の接続端子(12b)に電気的に接続され、前記内部電極(7〜10)は前記外部電極(3〜6)に周期的な順番で接合されるように接合されている、圧電アクチュエータ(1)。