特許

J-GLOBAL ID：200903013151133339

高速原子線源

発明者： 畠山 雅規
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-227993
公開番号（公開出願番号）：特開平7-055998
出願日： 1993年08月20日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【目的】 エネルギーが低く、粒子線束の高い高速原子線を効率よく放出することのできる高速原子線源を提供する。【構成】 多数の原子放出孔7を有する板状電極21と、前記板状電極にそれぞれ対向して配置された放電部を形成する2個の電極22,28と、該2個の電極間に交流電圧を印加する電源24と、前記板状電極と該対向する電極間に直流電圧を印加する電源29と、前記板状電極及び該2個の電極間に放電を起こすガス5を導入するガス導入部4とから構成される。

請求項（抜粋）：

多数の原子放出孔を有する板状電極と、前記板状電極にそれぞれ対向して配置された放電部を形成する2個の電極と、該2個の電極間に交流電圧を印加する電源と、前記板状電極と該対向する電極間に直流電圧を印加する電源と、前記板状電極及び該2個の電極間に放電を起こすガスを導入するガス導入部とから構成されることを特徴とする高速原子線源。