特許
J-GLOBAL ID：200903013155598239
走査型トンネル顕微鏡装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-309763
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140154
出願日： 1993年11月12日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 装置内にて探針の真空加熱清浄化が行える走査型トンネル顕微鏡装置を提供する。【構成】 観察室A内には、排気管12を介して真空ポンプ13に接続され、該真空ポンプ13の動作により超高真空状態とすることが可能なようになしてあり、観察室A内部には、観察台S及び清浄化台Cが設置されている。また観察室Aの一側には、小容積の導入室Bがゲートバルブ14を介して連設してあり、両室A,Bは、ゲートバルブ14の開放により相互に連通されるようになっている。導入室Bには、このように導入される探針2を観察室Aへ搬入するための搬送手段として、先端に搬送治具9が装着されたトランスファロッド30が備えられている。搬送治具9,観察台S,清浄化台C間における探針2の移動及び脱着はマニピュレータMにて行うようになしてある。
請求項（抜粋）：
高真空状態に維持された観察室内にて、近接せしめて固定支持された試料と探針の先端との間に流れるトンネル電流に基づいて前記試料の表面構造を観察する走査型トンネル顕微鏡装置において、前記観察室内又は該観察室に連設された高真空状態に維持可能な予備室内に、前記探針を加熱する加熱手段と、該加熱手段に前記探針の先端を近接せしめて固定支持する固定支持手段とを備え、さらに前記加熱手段により加熱された探針を前記固定支持手段から前記試料に対向する位置へ、搬送する手段を備えることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡装置。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
