特許

J-GLOBAL ID：200903013156405833

有機マグネシウム化合物を用いた酸化マグネシウム膜の製造方法

発明者： キム ユンソー ,  コー ウォンヨン ,  クー スー ジン
出願人/特許権者： コリア リサーチ インスティテュート オブ ケミカル テクノロジー
代理人 (1件)： 三枝 英二 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-505024
公開番号（公開出願番号）：特表平10-510326
出願日： 1996年07月03日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】酸素とマグネシウムを1:1の原子比率で含有する有機マグネシウム化合物を酸素が存在しない条件のもとで300ないし450°C範囲の温度に加熱した結晶と接触させることを含む、酸化マグネシウム膜で単結晶の表面を被膜する方法。このように製造された酸化マグネシウム膜は炭素がほとんど混入されていない。

請求項（抜粋）：

酸素とマグネシウムを1:1の原子比率で含有する有機マグネシウム化合物を250°C以上に加熱された基質と接触させることを含む、酸化マグネシウム膜で基質を被膜する方法。

IPC (4件)：

C23C 16/40 ,  C01F 5/06 ,  C30B 29/06 ,  C30B 29/42

FI (4件)：

C23C 16/40 ,  C01F 5/06 ,  C30B 29/06 C ,  C30B 29/42