特許
J-GLOBAL ID：200903013160272597
Al合金スパッタ用ターゲットおよびその製造方法
出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社
ティーディーケイ株式会社 について
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-249821
公開番号（公開出願番号）：特開平7-090566
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：
【要約】【目的】 光磁気記録媒体等に用いる金属反射層の成膜に用いると、膜中の合金組成が均一で、金属反射層等の特性のバラツキが少なく、さらに合金構成成分の含有率を高くすることが可能で、金属反射層等の熱伝導率を低下させることができ、例えばより一層高い記録感度をもつ光磁気記録媒体等の光記録媒体が得られる、Al合金スパッタ用ターゲットとその製造方法を提供する。【構成】 M含有量1〜40wt%のAl-M合金から形成されており、鏡面加工して走査型電子顕微鏡観察を行ったとき、平均粒径5μm 以下のMリッチの微細粒を含有するグレインをもち、さらにグレイン周囲に、Mリッチの第2の微細粒を有するバウンダリー層を有するスパッタ用ターゲットで、Al-M合金を溶融して高速急冷法により粉末とし、得られた微細粉末を加圧成形する。
請求項（抜粋）：
Al-M合金(ただしMは、Mg、Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Co、Ni、CuおよびZnのうちの1種以上である)から形成されており、鏡面加工をして走査型電子顕微鏡観察を行ったとき、平均粒径5μm 以下の前記Mリッチの微細粒を含有するグレインをもつAl合金スパッタ用ターゲット。
IPC (4件)：
引用特許：
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