塗布装置および塗布方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長門侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066531
公開番号（公開出願番号）：特開平9-253563
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】膜厚の不良部分を可能な限り短くでき、且つ、塗布品質の向上を図ることができる塗布装置および塗布方法、並びに、これらを用いたカラーフィルタの製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】カラーフィルタの製造に用いられる塗布方法を実施する塗布装置は、ガラス基板Aを移動させるステージ6と、ガラス基板A上に塗布液を吐出するスリットダイ40と、スリットダイ40に塗布液を供給するシリンジポンプ44と、シリンジポンプ44のポンプモータ55の駆動を制御するコンピュータ54とを備え、コンピュータ54はステージ6の移動が開始された後、その移動速度が定常状態に達するまでの過渡期、ステージ6の移動速度の変化率と、スリットダイ40からの吐出流量の変化率とを一致させるべくポンプモータ55を制御する。

請求項（抜粋）：

塗布液を供給する供給手段と、前記供給手段から供給された塗布液を吐出する塗布器と、前記塗布器および被塗布部材のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段とを備えた塗布装置において、前記被塗布部材の表面に塗膜が形成されるとき、前記塗膜の形成開始後から前記塗布器の塗布液の吐出流量および前記被塗布部材の相対移動速度がそれぞれ定常状態に移行するまでの過渡期にて、前記塗布器からの塗布液の吐出流量および前記被塗布部材の相対移動速度の変化率を互いに一致させるべく、これら前記吐出流量および前記相対移動速度のうちの少なくとも一方を制御する同調手段を設けたことを特徴とする塗布装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-326962
塗膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-157322 出願人：東レ株式会社
特開昭62-201668

審査官引用 (3件)

特開平4-326962
塗膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-157322 出願人：東レ株式会社
特開昭62-201668

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