特許

J-GLOBAL ID：200903013179687410

位置決め装置

発明者： 芦沢 隆利
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-047876
公開番号（公開出願番号）：特開2001-235692
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：

【要約】【課題】 例えば-20°C〜+60°Cといった広範な温度条件下で使用しても、±1μm程度の高い位置合わせ精度で軸芯合わせを行うことができる位置決め装置が存在しない。【解決手段】 ベース部材60と、案内部材55と、可動ステージ34と、固定ステージ57と、移動子32及び振動子31を有する振動モータ33とを有する位置決め装置30である。可動ステージ34により移動される位置決め対象物56と、可動ステージ34の位置を検出するためのゲージ59cとの間隔の変化と、ベース部材60に固定された固定ステージ57と位置検出部59の間隔の変化とが、相殺するようにしたことで、熱膨張又は熱収縮による位置ずれを防止し、±1μm程度の高い位置合わせ精度を有する。

請求項（抜粋）：

移動する位置決め対象体と該位置決め対象体の位置を検出するためのゲージとが互いに離れた位置に設けられる可動ステージと、該可動ステージが移動することによって前記位置決め対象体と位置的にほぼ一致させられる被対象物が設けられる固定ステージと、前記ゲージを読み取り、前記位置決め対象体の位置を検出する位置検出手段と、前記固定ステージ及び前記位置検出手段をそれぞれ離れた位置に固定するベース部材とを備え、前記可動ステージ及び前記ベース部材に温度変化が生じても、前記可動ステージに設けられた前記位置決め対象体と前記ゲージとの間隔の変化と、前記ベース部材に設けられた前記位置検出手段と前記固定ステージとの間隔の変化とが相殺されるようにしたことを特徴とする位置決め装置。

IPC (5件)：

G02B 26/08 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12 305 ,  G12B 5/00 ,  H02N 2/00

FI (6件)：

G02B 26/08 F ,  G05D 3/00 A ,  G05D 3/00 G ,  G05D 3/12 305 L ,  G12B 5/00 A ,  H02N 2/00 C

Fターム (45件)：

2F078CA10 ,  2F078CB05 ,  2F078CB12 ,  2F078CC01 ,  2H041AA14 ,  2H041AB19 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ06 ,  5H303AA30 ,  5H303BB01 ,  5H303BB06 ,  5H303BB11 ,  5H303CC06 ,  5H303DD14 ,  5H303DD22 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF06 ,  5H303HH01 ,  5H303JJ08 ,  5H680AA00 ,  5H680BB01 ,  5H680BB13 ,  5H680BC00 ,  5H680CC02 ,  5H680DD01 ,  5H680DD15 ,  5H680DD23 ,  5H680DD53 ,  5H680DD55 ,  5H680DD65 ,  5H680DD72 ,  5H680DD82 ,  5H680DD83 ,  5H680EE21 ,  5H680EE22 ,  5H680FF04 ,  5H680FF08 ,  5H680FF26 ,  5H680FF30 ,  5H680FF33 ,  5H680GG02 ,  5H680GG11 ,  5H680GG27